Системи ултра високог вакуума

Кратак опис:

Комплетни сетови опреме за ултра-високи вакуум се широко користе у научним истраживањима и производњи у областима науке о материјалима, оптике, физике, експеримената науке о свемиру и прецизне машинске обраде.

1. Технички индикатори

1. Степен системског вакуума: крајњи степен вакуума<2x10-8pa, and the vacuum degree is better than 6x10-8pa when the manipulator is driven by the magnetic rod.

2. Вакумска комора: усвојите сферичну структуру од нерђајућег челика, 316Л, унутрашњи пречник: 300 мм.

Стопа цурења система<1x10-7pPa·L/S. 3.

4. Вакум комора: НЛО-облика (НЛО) нерђајућа челична конструкција, 316Л, спољне димензије: 800к360мм.

5. Равна комора: сферна структура од нерђајућег челика, 316Л, величина: унутрашњи пречник СД300мм.

6. Гасни систем: 6.1. Гасно-чврста комора, нискотемпературна инфрацрвена комора и ЕСЕМ имају захтеве за снабдевање гасом, а обједињени систем снабдевања гасом (који може да реализује конфигурацију од 3 врсте гасова) је неопходан за реализацију снабдевања гасом у свакој реакционој комори. Брзина усисног протока може бити 0~50СЦ.6.2. Вентили повезани са вакуумском комором су сви метални ручни угаони вентили ултра-високог вакуума са ПДВ-ом.

7. Сваки подсистем усваја независан систем вакуумског пумпања, који не омета једни друге. Независни носач се може померити и одвојити у било ком тренутку.

2. Састав опреме

Овај систем је систем ултра високог вакуума са вишекоморном структуром. Опрема се углавном састоји од префабрикованог система блага, система вакуумске коморе НЛО, система коморе за реакцију гас-чврста, система за пренос и предају узорака, Д система за посматрање, гасног система, електричне контроле и компјутерске контроле. системи, помоћни системи итд.

Popularne oznake: системи ултра високог вакуума